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導航

臺階儀 橢偏儀 SEM AFM TEM
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臺階儀
  • 型號
    廠家:Bruker(德國)/型號:DektakXT
  • 主要參數(shù)
    最大掃描長度≥55mm/測試所允許的最大樣品厚度≥50mm/垂直方向的掃描范圍≥1000μm
  • 主要參數(shù)
    測試高度方向的重復性≤0.4nm(1μm的標準臺階)/測試垂直分辨率≤0.1nm
  • 用途及功能
    主要用于薄膜材料厚度測量??色@得精確定量的臺階高度,線粗糙度,薄膜曲率半徑,應力測試,表面3D形貌等測試功能。
案例展示

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