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晶圓襯底光刻膠掩膜版無塵耗材設(shè)備銷售

光刻膠

AZ系列

光刻膠型號：AZ5214,AZ4620,AZ6130等適用光譜：g/h/i-line 厚度：1-30um 分辨率：1um 適用工藝：可用于深硅刻蝕
SU-8系列

光刻膠型號：SU-8 10系列，20系列等適用光譜：g/h/i-line 厚度：0.1-400um 分辨率：0.5um 適用工藝：適合于高深寬比工藝，透明度高，垂直度好
PI

光刻膠型號：LTC9000系列適用光譜：g/h/i-line 厚度：4-50um 分辨率：4um 適用工藝：用于非銅襯底工藝，固化溫度最低可以達到250C°
電子束膠

光刻膠型號：HSQ Fox-15/16 電子束適用光譜：100nm 厚度：350nm-810nm 適用工藝：分辨率最好的光刻膠，抗刻蝕

案例展示

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