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導航

臺階儀 橢偏儀 SEM AFM TEM
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TEM
  • 主要參數
    電子源：W（310）冷陰極場發射型 加速電壓：200 kV、60 kV*1 圖像分辨率：STEM：0.078 nm（ADF-STEM圖像）
  • 主要參數
    TEM：0.102 nm（晶格像）
    倍率：STEM：×20～×8,000,000
    TEM：×100～×1,500,000
  • 主要參數
    樣品臺：偏心測角儀（Eucentric Goniometer）5軸樣品臺/樣品尺寸：3 mm Φ
  • 主要參數
    移動范圍：X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm
    樣品傾斜：α＝±25°、β＝±35°（日立2軸傾斜樣品桿*1）
  • 用途及功能
    透射電鏡（TEM）以其高分辨率的成像和分析能力在納米級器件的表征和操作中發揮著重要作用
案例展示

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