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導(dǎo)航

臺階儀 橢偏儀 SEM AFM TEM
當(dāng)前位置:首頁 >> 器件結(jié)構(gòu)表征 >> AFM
AFM
  • 型號
    廠家:Bruker(德國)
    型號:Dimension ICON
  • 主要參數(shù)
    XY方向掃描范圍90μm x 90μm,
    垂直方向掃描范圍10μm,
    樣品尺寸可達(dá)直徑210mm,厚度15mm
  • 用途及功能
    表面形貌、粗糙度、相圖測試
    力曲線等力學(xué)性質(zhì)測試
  • 用途及功能
    電學(xué)性質(zhì)如靜電力顯微鏡(EFM)、開爾文探針力顯微鏡(KPFM)、壓電力顯微鏡(PFM)、導(dǎo)電原子力顯微鏡測試(C-AFM)
  • 特點(diǎn)
    高分辨形貌成像、電學(xué)性能測試模塊如EFM、PFM、KPFM、C-AFM
案例展示

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