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導(dǎo)航

臺(tái)階儀 橢偏儀 SEM AFM TEM
臺(tái)階儀
  • 型號(hào)
    廠家：Bruker（德國(guó)）/型號(hào)：DektakXT
  • 主要參數(shù)
    最大掃描長(zhǎng)度≥55mm/測(cè)試所允許的最大樣品厚度≥50mm/垂直方向的掃描范圍≥1000μm
  • 主要參數(shù)
    測(cè)試高度方向的重復(fù)性≤0.4nm（1μm的標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階）/測(cè)試垂直分辨率≤0.1nm
  • 用途及功能
    主要用于薄膜材料厚度測(cè)量。可獲得精確定量的臺(tái)階高度，線粗糙度，薄膜曲率半徑，應(yīng)力測(cè)試，表面3D形貌等測(cè)試功能。
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