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氮化硅薄膜器件
  • 氮化硅薄膜器件
    氮化硅薄膜器件作為承載體,主要服務(wù)于同步輻射X射線、軟X射線、紫外或極紫外、TEM、EDX觀測等結(jié)構(gòu)分析或透射成像實驗。
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