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導航

微流控器件 二維材料器件 氮化硅薄膜器件 微熱板器件 光波導器件
微流控器件
  • PDMS器件
    PDMS器件精度取決于模具精度，有硅模具、SU-8模具、玻璃模具，,最小精度2um
  • 硅流道器件
    硅流道器件精度取決于硅刻蝕精度，最小精度百納米級，流道最大深寬比可達20：1
  • 玻璃流道器件
    玻璃流道器件精度取決于玻璃刻蝕精度，最小精度1um，深寬比可達1：2
  • SU-8器件
    SU-8器件精度取決于SU-8光刻膠光刻精度，膠厚和線寬比為1:10
案例展示

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