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光刻 刻蝕 鍍膜 鍵合 PI工藝 PDMS 離子注入 切割打孔 減薄拋光 PMMA工藝
減薄拋光
  • 減薄
    Si,GaAs,GaN,InP,玻璃,藍寶石,陶瓷等;
  • 拋光
    Si,GaAs,GaN,InP,玻璃,藍寶石,陶瓷等;
    表面粗糙度:1-50nm
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