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導航

光刻 刻蝕 鍍膜 鍵合 PI工藝 PDMS 離子注入 切割打孔 減薄拋光 PMMA工藝
離子注入
  • 外延與摻雜技術
    離子注入：B，P，F，Al，N，Ar，H，He，Si
  • 配套工藝
    高溫氧化/高溫擴散/退火/快速退火
案例展示

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